Ki sa ki se yon filtè ULPA? Ki jan li diferan de HEPA ak ki kote chak youn fè pati

Yon filtè HEPA anba EN 1822 anjeneral refere a H13 oswa H14. Yon filtè ULPA refere a U15, U16, oswa U17. So an soti nan H14 a U15 sanble ti sou papye, men an tèm de pénétration li se yon etap enpòtan. H14 pèmèt yon maksimòm pénétration an jeneral nan 0.005%, pandan y ap U15 diminye sa a 0.0005%. Sa se yon rediksyon 10× nan pénétration admisib.

Sa a se premye bagay achtè yo ta dwe sonje:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•The baz tès se MPPS, pa sèlman yon senp 0.3 μm deklarasyon maketing

Pi wo efikasite anjeneral vle di pi sere kontwòl kontaminasyon, men tou, plis sansiblite sistèm nan konsepsyon airflow ak gout presyon

EN 1822 klas efikasite

Dapre EN 1822, klas ki pi souvan fè referans ak efikasite segondè yo se:

•H13: Pi gran pase oswa egal a 99.95% efikasite jeneral

•H14: Pi gran pase oswa egal a 99.995% efikasite jeneral

•U15: Pi gran pase oswa egal a 99.9995% efikasite jeneral

•U16: Pi gran pase oswa egal a 99.99995% efikasite jeneral

•U17: Pi gran pase oswa egal a 99.999995% efikasite jeneral

Tablo klas la menm gen ladan tou limit efikasite lokal / pénétration, ki gen pwoblèm lè optik koule se yon pati nan egzijans akseptasyon an.

Sa a se kote konfizyon kòmanse.

Nan mache a, anpil fichye ULPA toujou dekri pèfòmans kòm 99.9995% nan 0.12 μm. Literati pwodwi AAF fè sa dirèkteman pou modil ULPA ak filtè bwat. Libellés sa a toujou komen ak abitye pou anpil enjenyè. Men, lojik klasifikasyon fòmèl anba EN 1822 / ISO 29463 baze sou tès MPPS. Sa vle di fason ki pi an sekirite pou konpare pwodwi yo se:

•Tcheke klas la an premye: H14, U15, U16, U17

•Konfime estanda tès la: EN 1822 / ISO 29463

•Apre sa, revize fason founisè a endike efikasite mezire nan fichye done a

Ki sa U15 so an vrèman vle di

Enjenyè nou yo souvan wè achtè treteU15kòm "jis yon ti kras pi bon pase H14." Li pi bon pase sa. Pénétration total admisib la desann nan yon sèl kote desimal. An tèm de sal pwòp, sa enpòtan lè pwosesis la deja goumen nan nivo defo, pa sèlman nan nivo chanm-konfò.

Swen sante ak chanm operasyon: sib la se kontwòl enfeksyon, pa sede wafer

Nan konsepsyon swen sante, enkyetid prensipal la se kontwole risk enfeksyon nan lè a, kontaminasyon sit chirijikal-, relasyon presyon, ak koule lè pwòp sou zòn kritik la. Konsèy swen sante ASHRAE di saStandard 170 egzije filtè HEPA sèlman pou chanm anviwònman pwoteksyon-, pa atravè tout espas swen sante. Pou chanm opere, anfaz la se sou etalaj la difize ekipman pou, modèl Airflow, ak presyon chanm. Se poutèt sa diskisyon sou swen sante anjeneral konsantre souHEPA, pa ULPA.

Gen pwodwi swen sante ki ofri pèfòmans si ou vle ULPA. Literati sou vantilasyon-teyat operasyon Camfil la mansyone filtè ULPA opsyonèl pou kèk sistèm. Men, sa pa chanje règ la pi laj:referans estanda swen sante a se filtraj HEPA-, alòske ULPA se yon ka espesyal, pa repons default la.

Semiconductor chanm pwòp yo diferan. Gid semiconductor Camfil a dekri fab ki vize nivo patikil ISO Klas 1 ansanm ak kontwòl strik nan kontaminasyon molekilè nan lè (AMC). Li tou mete aksan sou itilizasyon filtè HEPA ak ULPA nan aplikasyon tankou litografi, etch, difizyon, metalizasyon, enplantasyon ion, zouti enspeksyon, ak depo retikul oswa wafer. MANN+HUMMEL dekri tou sistèm FFU pou sal pwòp ki itilize eleman H14 jiska U17.

Se poutèt sa achtè semi-conducteurs souvan deplase soti nan HEPA a ULPA:

• gwosè patikil kritik yo pi piti

• pèt pwodiksyon an mare dirèkteman nan kontaminasyon nanokal

•zouti ak ti -anviwònman yo souvan bezwen kontwòl pi sere pase fab ki antoure a

•kontaminasyon molekilè nan lè a enpòtan ansanm ak patikil

Règ senp:
•Si sal la ap pwoteje yon pasyan ak anplwaye travay, anjeneral HEPA se pwen referans.
•Si sal la pwoteje yon wafer, mask, retikul, oswa zouti pwosesis avanse, ULPA vin pi komen.

Non. Pa otomatikman.

Yon pi bon filtre sou papye se pa toujou pi bon chwa jeni nan jaden an.

Achtè yo ta dwe konpare tou:

•Initial Rezistans

•allowable final presyon gout

•kapasite fanatik ak pri enèji

•airflow inifòmite

•sele ak eskane-kondisyon tès yo

•degassing konpòtman

• risk aplikasyon si filtè a bouche pi vit oswa fòse yon redesign nan sistèm lè a

Enjenyè nou yo souvan wè ULPA espesifye kote H14 ta satisfè egzijans pwosesis reyèl la ak pi ba rezistans sistèm ak pi ba pri opere. Erè opoze a rive tou: HEPA vin kopye nan yon RFQ semi-kondiktè oswa mikwo-elektwonik tou senpleman paske li se tèm ki pi abitye. Ni chemen kout se bon pratik akizisyon.

Pwen sa a vin neglije tout tan tout tan an.

Nan anviwònman semi-conducteurs ak mikwo-elektwonik, pwoblèm nan se pa sèlman patikil. Li se tou molekilè lage soti nan filtè nan tèt li. Camfil di ranje prefiltè semi-conducteurs li yo fèt pou pwoteje filtè HEPA san yo pa degaje bor, ak pwodwi HEPA/ULPA li yo pou itilize semi-conducteurs yo fèt pou degassaj ki ba anpil. AAF fè menm pwen an sou bò mikwo-elektwonik yo, li di ke bore-sans filtè ak pwodui chimik inaktif filtre yo limite -gaz ki ka domaje mikwo-elektwonik yo. Hollingsworth & Vose dekri tou medya mikwoglass ki ba -bor jan yo fèt pou chanm pwòp semi-conducteurs.

Nan fabrikasyon semi-conducteurs, kontaminasyon tras se pa teyorik. Kontaminasyon molekilè nan lè a ak résidus chimik ka afekte sifas wafer, optik, ak zouti pwosesis. Camfil note klèman ke reyaksyon endezirab ki enplike asid, baz, òganik, refractory, akdopanka kreye domaj ak diminye efikasite ekipman yo. Bor se yon eleman dopant nan pwosesis semi-conducteurs, se konsa san kontwòl lage bor nan materyèl nan chemen lè a se egzakteman kalite bagay fabs eseye evite.

Se poutèt sa achtè nan elektwonik souvan mande pou:

•ba-bormedya

•ba-degaseadezif ak konpozan

•ULPA oswa modil-wo fen HEPA/ULPA ki fèt espesyalman pou mikwo-elektwonik

• filtè chanm pwòp yo matche ak litografi, etch, fim mens, oswa anviwònman zouti enspeksyon

Sa a enpòtan. Medya filtre ki ba-bor pa nesesè nan chak chanm pwòp.

Li vin enpòtan lè:

pwosesis la se semi-conducteurs oswa mikwo-elektwonik

achtè a ap jere AMC ak materyèl outgassing

fab la oswa toolmaker gen espesifikasyon sere sou pwòpte chimik

pri a nan kontaminasyon tras trè wo

Pou anpil pharmaceutique, lopital, oswa chanm pwòp endistriyèl estanda, kondisyon sa a ka pa janm parèt nan RFQ la.

1. Konpare HEPA nan 0.3 μm ak ULPA nan 0.12 μm san yo pa tcheke estanda a

Sa se yon konparezon pòm-a-zoranj sof si ou konfime baz tès ak klas yo endike a. EN 1822 / ISO 29463 klasifikasyon bati alantou MPPS.

2. Espesifye ULPA paske li "son pi an sekirite"

Pi wo efikasite se pa yon ajou gratis si sistèm lan pa ka absòbe gout presyon an oswa si pwosesis la pa bezwen li.

3. Ignore outgassing ak pwòpte chimik nan elektwonik

Nan aplikasyon semi-conducteurs, materyèl pwòp filtè a gen pwoblèm. Konstriksyon ki ba-bor ak ba-degase kapab enpòtan menm jan ak klas efikasite.

4. Ekri "ULPA filter" nan RFQ a san yon klas

Yon RFQ grav ta dwe diU15, U16, oswa U17, plis estanda tès la ak gwosè.